FIB: Abbilden mittels SEM und FIB
Abbilden mittels SEM und FIB
Das Abbilden von Probenoberflächen ist mit dem Elektronenstrahl sowie dem Ionenstrahl bis zu einer Auflösung von ca. 1 nm bzw. 5 nm möglich. Abbildung 1 zeigt eine Aufnahme mit dem Elektronenstrahl von Pt-Nanopartikeln auf Graphen-Nanoplatelets [1]. Die Pt-Partikel haben einen Durchmesser von ca. 4 nm.
Abbildung 1: Pt-Nanopartikel auf einem Graphen-Nanoplatelet [1].
Trennen:
Dünnen:
- Elektrolytische Poliereinheit
- Focused Ion Beam (FIB)
- Ion Slicer (IS)
- Kryomikrotom
- Muldenschleifer
- Präzisions-Ionen-Poliersystem (PIPS)
Polieren:
Beschichten:
Reinigen:
Trocknen:
- Gefriertrockner
- Kritischer-Punkt-Trockner (CPD)